二手 KLA / TENCOR 2131 #293815220 待售

KLA/TENCOR 2131是一种掩模和晶圆检测设备，设计用于最苛刻的生产和大批量吞吐量要求。全面的KLA 2131高级缺陷检测系统为业界领先的半导体制造商提供了强大的功能组合,包括深度晶圆和标线缺陷检测。TENCOR 2131的设计满足了单单元平台内生产、质量和过程控制的苛刻要求。2131机器融合了多通道光学架构、高分辨率扫描阶段和快速图像采集。这种组合创造了一种高通量的检测工具,它能够缺陷检查300 mm、200 mm和更小的模具尺寸,支持从0.7微米到5微米的光学分辨率,覆盖最广泛的设备几何形状。该资产采用全自动、安静、易于使用的设计,旨在优化流程并缩短周期时间。KLA/TENCOR 2131提供集成的高级缺陷检测功能,使客户能够将实际结果与预期性能进行比较。缺陷检测软件将提醒用户进程中的任何异常,如临界尺寸缺陷和其他次要性能问题。该模型还提供了易于使用和易于理解的可自定义图形用户界面。KLA 2131提供针对某些技术优化的4层或8层模型的光学层检查。它允许用户检查特定的层或层的组合（以优化检查的精度）。它还具有广泛的动态范围，使用户能够补偿变化的材料厚度或层图样。TENCOR 2131能够以高精度和可重复性在多个站点进行测量和比较。该设备还包括基于地图的缺陷查看功能,如缺陷扫描仪和地图查看器,可帮助用户可视化过程结果并快速做出决策。此外,它还提供晶圆级非光学检查功能,如3 D临界尺寸、显微图查看和自动针迹探测。2131提供高级数据采集和分析能力，如报告生成、直方图和趋势分析，以支持流程和产量控制。来自系统的数据可以存储在SPC格式的文件中，用于数据分析工具。综上所述，KLA/TENCOR 2131是为满足最苛刻的生产和大批量吞吐量要求而设计的先进的掩模和晶圆检验装置。它具有易于使用的图形用户界面、强大的缺陷检测软件、基于地图的缺陷审查功能以及强大的数据采集和分析功能。这台机器确保对各种不同尺寸和形状的半导体结构进行精确的缺陷检查和过程控制。