二手 KLA / TENCOR 2131 #293822064 待售
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KLA/TENCOR 2131是利用先进的自动化光学检测技术识别表面或隐藏缺陷的掩模和晶圆检测设备。该系统旨在检查各种类型的微电子设备,如集成电路、光掩模、晶片和平板。该单元配备了高功率显微镜、数码相机和高分辨率光学器件。该显微镜用于微电子器件表面缺陷的识别和分析.数码相机提供了设备的详细3D图像,而高分辨率光学设备则提供了最高分辨率的可用图像。该机具有广泛的特点,允许进行详细的缺陷分析,包括高放大率检查能力、缺陷检测、自动样品对准、缺陷分类和缺陷分析。该工具还允许数据演示,包括概述、突出显示和缺陷报告。该资产附带一个软件套件,允许用户控制和配置模型,以及保存、检索和分析检查数据。软件包括缺陷分类器、泄漏检测器、掩蔽和测量工具、缺陷表征器、缺陷分析软件等功能强大的工具。KLA 2131还提供其他功能,如自动图像处理、手动对准、逐模操作和非接触式检查。该设备还允许在PC和Unix环境中运行。TENCOR 2131提供准确可靠的检测能力,其先进的自动化光学检测技术确保缺陷检测高度准确可靠。该系统非常适合需要高度可靠的掩模和晶片检查的应用,是高缺陷率生产线的理想选择。
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