二手 KLA / TENCOR 2131 #9210335 待售
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KLA/TENCOR 2131是一种掩模和晶圆检测设备,用于检测半导体制造过程中的缺陷。系统使用五轴电动级来收集可能对电路性能产生不利影响的缺陷图像。该单元配备了两个电子束技术阴极射线管(CRT)和一个高精度数码相机,以获取特征的图像。此外,机器还设有一套软件工具,旨在自动化缺陷检测的过程,包括色罩和模式识别技术。结合这两种图像采集系统,KLA 2131能够获得比许多传统晶圆检测系统高得多的分辨率图像。它还具有几种不同的测试模式,如扫描电子显微镜(SEM)成像、自动聚焦能力和激光检测/解析检查。这些功能提供了出色的检测和成像性能,能够快速识别和纠正缺陷。该工具还配备了一系列工业级远心镜头和光学器件,用于高精度成像。这些镜头可以配置为获取特定角度和分辨率的图像,从而能够检测到微小的缺陷,否则这些缺陷将无法在较低的级别进行检测。此外,该资产还能够将图像存储在可搜索的数据库中,以便于查看和比较。TENCOR 2131是半导体制造商的强大工具,它在缺陷检测和校正方面提供了令人印象深刻的性能和准确性。该模型还通过减少人工检查和节省时间来帮助降低生产成本。最后,图像采集系统、软件工具和2131内的远心镜头的结合使其成为最先进的掩模和晶圆检测系统之一。
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