二手 KLA / TENCOR 2131 #9383244 待售

KLA/TENCOR 2131是一种掩模和晶圆检测设备，设计用于提供可靠和高精度的缺陷检测。它能够检测多种基板，包括半导体晶片、平板显示器、非易失性记忆芯片、有机发光二极管和太阳能电池。功能包括自动配方构建、晶圆映射、缺陷识别和分类。系统使用自动对齐机制将基板与具有集成传感器元件的窗口精确对齐。这使得蒙版和晶圆定位非常精确，以防止由于未对准而产生错误。集成传感器使用光学和成像技术的组合来检测基板上的各种缺陷。这些技术包括亮场成像、暗场成像、透射探针照明（TPI）和区域扫描成像。该单元还能够检测一系列缺陷，如颗粒和污染、空隙和开口、皱纹、眼泪和相位异常。缺陷检测机与缺陷分类和审查模块集成在一起，以帮助技术人员评估结果。工具收集的信息存储在用户定义的数据库中,以便进行高效、准确的缺陷分析。KLA 2131采用符合人体工程学的用户界面设计，操作简单。GUI提供了关于资产状态的清晰、简洁的直观反馈,使技术人员能够轻松监控检查过程。此外，它还具有接受各种用户定义参数的灵活性，使其能够高度定制以满足特定行业的要求。此外,该模型还配备了一个诊断端口,便于自动设备健康评估,使技术人员能够快速识别和解决任何问题。总体而言，TENCOR 2131是一个先进的系统，设计用于对掩模和晶片进行可靠和准确的检查。它具有高度的柔韧性，使得它适用于广泛的底物和缺陷类型。它还具有一个用户友好的界面,使技术人员易于使用,并具有多种附加功能,使其具有高度可定制性。