二手 KLA / TENCOR 2131 #9404524 待售

KLA/TENCOR 2131是一种为半导体制造工艺设计的自动掩模和晶圆检测设备。它既可用于光学应用，也可用于模具计量应用。该系统使用两个工作站，一个用于对齐，另一个用于最后检查。对齐工作站包含两个对齐模块,即自对齐模块和自动对齐模块。自对准模块使用高级图像分析技术将晶片自对准所需的模式。自动对齐模块使用编程的掩码来识别和对齐晶片。最终检查工作站配备了多个传感器，测量模式和缺陷。这些传感器包括光学显微镜阵列、X射线、电子显微镜和CMOS传感器。该单元还有一个单一的缺陷分类模块，能够同时测量多个缺陷。该机检查速度高，每小时高达1万个晶圆，适合大批量生产环境。此外,它还可以精确检测80%和更高的产量,从而在各种工艺条件下使用。该工具还能够分析测量结果并自动给出通过或失败的结果,从而能够更快地对过程进行重新设计。此外,它还具有直观的用户友好图形界面,便于设置和操作。KLA 2131是高精度掩模和晶圆检测的基本工具。其高速、高精度、直观的用户界面使其适合广泛的应用。无论是用于小批量运行还是大规模生产，TENCOR 2131都能帮助优化检测结果，提高产量。