二手 KLA / TENCOR 2131E #9384640 待售
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KLA/TENCOR 2131E设备是一种掩模和晶圆检测系统，旨在评估各种集成电路的完整性和均匀性。它使用先进的光学显微镜技术，快速准确地诊断和修复可能存在于各种基质中的小缺陷和污染物。该单元建立在KLA 2131E机器平台上,该平台能够成像和探测,以精确生成完整的24位彩色图像,并对各种基板进行精确测量。它利用高度进化的高分辨率算法，以极低的缺陷高速快速成像。该机还利用几何传感器和快速数字成像技术检测和测量小至1微米的缺陷。它具有快速、准确的测量功能,可提高多种设备类型的产量。TENCOR 2131 E具有识别和处理大批量晶圆的能力，每小时高达20,000晶圆。该工具具有高度可调性，允许用户根据每个采样集的需要配置资产。该模型还具有检查金属薄膜（如铜和铝）以及陶瓷和玻璃的能力，从而创建每种材料的轮廓。此外，它还可以测量可能影响产品性能的涂层和其他污染物。2131 E设备还具有检测某些缺陷和小颗粒的能力，这些缺陷和小颗粒可能在传统光学显微镜下没有被发现。该系统可以检测颗粒污染以及晶圆从表面到背面的缺陷。它还具有定位来自光阻或蚀刻缺陷的电损坏以及嵌入晶片内的异物的能力。该单元还具有高级缺陷分类和图像处理工具、自动缺陷列表、高速批处理报告等附加功能。机器的用户友好界面和高度可视化的设置使其易于操作和快速编译必要的数据。KLA 2131 E工具是精确快速检查各种材料的理想解决方桉。它具有检测和分析最小缺陷的能力,其快速、精确的成像功能使其成为各种行业应用的绝佳选择。
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