二手 KLA / TENCOR 2132 #135009 待售

KLA/TENCOR 2132是一种用于提高半导体产量、质量和可靠性的掩模和晶圆检测设备。它结合了先进的光学、精密的软件和闪电晶片检测技术，以微米级精度检测缺陷。该系统配有高分辨率CCD相机和远心光学器件，以捕捉高达8mm x 8mm视场的掩模或晶圆图像。远心光学校正角度视图造成的几何失真，从而允许更高的图像质量和检测精度。该单元还具有一个Infinity Focus Beam Profiler,它在光学的焦点处创建一个成像平面,从而创建被检查表面的3D激光轮廓图。KLA 2132的特点是具有用户友好的图形界面和自动检测算法的控制机器。该工具允许对扫描曲面进行单击设置和快速处理。它还包含一个自动校准功能，优化成像参数以保持高水平的定位精度。此外,资产还配备了一系列质量分析模块、智能技术,用于分析复杂缺陷并生成详细的缺陷测量和分析报告。这包括模具对模具的比较，颜色映射和环分析缺陷检测和分类。TENCOR 2132自动对准器，一系列镜子和镜头，允许像差校正，不需要手动光学对准。该模型还包括一个步进集成选项，它允许在步进曝光期间实时对晶片进行高分辨率检查，从而能够快速准确地监测缺陷。2132使半导体制造商有能力在微观尺度上进行检查，以识别和减轻产量损失和生产缺陷。除了提供清晰、详细的图像外,这些设备还提供先进的自动化缺陷检测和分类,使制造商能够提高产品的质量和可靠性。