二手 KLA / TENCOR 2132 #192495 待售

KLA/TENCOR 2132是一种用于半导体制造的掩模和晶圆检测设备。它提供了一般缺陷检测、复杂缺陷类型具有挑战性的自动检测（CAI）以及最终缺陷确认的审核功能。KLA 2132提供了一个光学检查系统，具有6英寸（150毫米）的检查能力和多个晶圆尺寸之间的快速转换。它能够以约0.2 μ m的分辨率提供100 μ m的视场（FOV）,这意味着它能够精确检测甚至纳米尺度的缺陷。该设备还具有先进的缺陷检测算法，可以有效识别粒子和光学缺陷类型，如桥梁、划痕、裂纹、粒子、针孔等。机器使用专有的光学扫描体系结构来快速准确地获取和处理图像。这样提供的景深足以检查各种缺陷类型。然后将图像与参考图像进行比较,以检查是否存在缺陷相关的变化。此外，TENCOR 2132还包括缺陷分类、缺陷自动检测、缺陷分析、缺陷审查、缺陷处置等缺陷检测功能。该工具包括一个方便用户的控制软件，为用户提供检查的清晰、详细的结果。它还定制了用于增强图像可视化和分析的"一流"工具。界面允许操作员轻松指定参数，查看结果，快速细化分析。2132是用于检查表面是否存在潜在缺陷的极为通用和可靠的工具。其先进的算法和光学资产使其能够准确、精确地检测纳米级缺陷，同时为用户提供清晰、易于理解的结果。该模型是任何需要高级检验和缺陷分析的制造商的理想解决方桉。