二手 KLA / TENCOR 2132 #293586850 待售
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KLA/TENCOR 2132是一种用于最大检测能力、大面积覆盖和提高吞吐量的掩模和晶圆检测设备。该系统利用先进的光学检测技术（CoherentBackScatter和UV）对掩模和晶圆的不同表面层同时成像。它还包括圆度仪器、晶圆传输模块和多分辨率测量自动放大器。相干后散射（CBS）适合于对掩模和晶圆图样进行快速准确的检查，并作为检验时间短至5秒/片的验证工具。UV单元包括UV灯和UV光源，对任何类型的缺陷提供高灵敏度，甚至低于衍射边距。圆度仪器包含多个4轴微焦加速度计，这些加速度计在高速下以纳米分辨率测量晶圆的圆度。晶圆传输模块将晶圆从检查区域传输到自动放大器。自动放大器的设计能够精确检查晶圆表面上随机分布的非常小的结构，从而能够对准和测量尺寸小于150 nm的结构。KLA 2132是一种经济高效、可靠的掩模晶片检测机，适用于晶片蚀刻图样和缺陷的自动表征。该工具兼容模具检测和多重形态分析，其高端相机提供复杂形状和图桉的实时成像。该设备配备了先进的模式匹配算法，以及全面的故障覆盖能力和基于特征的测试分析。总体而言,TENCOR 2132是一种多用途、先进且方便用户的资产,由先进技术和专用软件应用程序组成。其强大的滤波器和公差测量算法能够检测任何生产过程中的微小缺陷，确认晶片或掩模的精确质量和功能。
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