二手 KLA / TENCOR 2132 #293603077 待售
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KLA/TENCOR 2132是一种先进的掩模和晶片检测设备，旨在通过自动缺陷检测、分类和报告，促进逐步提高晶片产量。该系统将高分辨率成像子系统与功能强大的缺陷审查软件和通用的处理单元结合在一起,在一台机器中提供晶莹剔透的缺陷图像和可操作的缺陷报告。面罩和晶片检查工具的设计可以精确地对标准和高级节点面罩和晶片表面成像,即使光学放大倍数为5倍和10倍。精密表面稳定的全机化光学级提供了快速高效的扫描，加上高性能的5百万像素电子倍增电荷耦合器件（EMCCD）相机优化信噪比和最小图像模煳。所有信号处理均采用自动平场校正和故障检测实时完成。功能强大的缺陷审查软件允许用户快速整理大量缺陷数据,以识别和隔离需要进一步调查的缺陷。该资产提供手动和自动缺陷审查,灵活的用户控制允许设置特定的缺陷标准,并修改许多参数以快速提供高保真度、准确的报告。通用的处理模型允许掩模和晶片检查设备根据应用程序与几乎任何设备或过程接口。该系统提供无摩擦的数据和信息自动传输,支持单阶段和多级流程、全自动数据收集和比较,以及可配置的软件和硬件设置,以适应各种应用程序。所有这些特性使得KLA 2132成为一个非常可靠和高效的选择，以满足掩模和晶圆检查的需要。该设备的高级体系结构提供了无与伦比的性能和高纯度晶圆产量,从而改进了过程监控,确保了客户的最高质量和可靠性。
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