二手 KLA / TENCOR 2132 #293628427 待售
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KLA/TENCOR 2132是一种用于检测微电子器件制造中使用的光掩模和晶片电路模式缺陷的掩模和晶片检测设备。为有效制造高密度、高分辨率的集成电路提供三维精度的高速模式检测。该系统具有先进的模式识别和材料识别技术,能够对电路模式进行高度详细的分析,重点是缺陷检测。通过创建存储在KLA 2132板载内存中的参数化图像来检查掩码和晶片模式。参数化图像用于将掩码和晶圆图样与用于定义图样的参考图像进行比较。此比较过程允许设备定位和识别阵列中的特征。然后分析检测到的特征,以确定它们是否与参考阵列和预定义参数一致。TENCOR 2132利用专有的高精度算法检测模式异常。此算法检查表面地形、边缘异常、阵列线放置、关键特征检测以及其他阵列参数。识别缺陷后,机器可以指定其大小、位置、类型和其他相关信息。此外,该工具还可以将其检查结果与现有的模具设计数据库集成在一起,以实现现场故障分析。2132还具有自动校正粒子检查功能,通过应用基于模式的校正算法自动从掩模或晶片图样中清除检测到的颗粒或污染。最后,该资产是专门为24小时运行而设计的,因为它易于访问的工具和部件允许定期维护和对齐自动化。KLA/TENCOR 2132是一种先进的模型,旨在提供关键的检测和故障分析解决方桉,旨在最大限度地降低生产成本,并最大限度地提高高密度、高分辨率集成电路的制造产量。该设备集成了高度先进的模式识别和材料识别技术,能够在苛刻的工业环境中进行精确的模式分析和缺陷检测。凭借其创新的解决方桉,KLA 2132为确保微电子器件制造的高质量提供了一个强大的软件包。
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