二手 KLA / TENCOR 2132 #293665007 待售

製造商
KLA / TENCOR
模型
2132
ID: 293665007
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2132是一种用于测量光刻面罩现场照片的面罩和晶圆检测设备。它利用激光扫描、多摄像机和物体识别算法等技术的新组合,以检测和测量掩模上的关键特征。KLA 2132系统能够扫描整个掩模的表面,并且可以检测到非常精确的特征,如线条和图桉,以及其他重要特征,如俯仰、对齐和对称。该装置利用激光扫描掩模,能够从广泛的角度精确检测和测量线宽。此外,TENCOR 2132还利用多个高分辨率摄像机,能够在掩模表面捕获详细图像。2132已被证明是检查口罩和晶片的可靠和准确的工具。它有一个功能强大的成像机器,可以检测最小的特征,并且可以正确对准掩模表面上的每个特征。此外,KLA/TENCOR 2132利用先进的对象识别算法,能够快速准确地识别掩模表面的模式和缺陷。此外,KLA 2132能够分析多次检查数据,同时允许用户快速识别检查过程中遇到的任何问题和缺陷。该工具包括一个包含数千个标准IC布局模式的库,并且能够检测阵列中的任何非标准特征。此外,TENCOR 2132还能够自动分析掩模上每个特征的对齐方式,以进行精确定位。简而言之,2132是一种先进的掩码和晶圆检测资产,它使用先进的激光扫描、摄像机和对象识别算法来精确检测和测量掩码上的特征,以实现广泛的应用。其强大的成像和分析功能使其成为在生产前验证IC设计质量的可靠工具。
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