二手 KLA / TENCOR 2132 #293747978 待售

KLA/TENCOR 2132是一种用于检测半导体制造中光刻缺陷的掩模和晶圆检测设备。它采用先进的深度学习算法对晶圆和标线上的缺陷进行识别、分割和分类,从而提高了制造产量,加快了工艺周转时间。KLA 2132系统提供了业界领先的图像采集单元,具有双传感器,能够以立体声方式捕获每晶片多达200层薄膜,每像素最多256位。此外，TENCOR 2132机器最多可同时检测四个晶片，进一步减少了检测时间。该工具还提供嵌入式28 nm节点缺陷分类功能,能够检测和分类掩码和晶片上30多种类型的缺陷,包括几何图样不均匀。这包括垂直、水平和倾斜线起伏和污染等特征,以及转弯差异、线路停止和底切。有了这种检测能力，2132资产可以同时识别固定模式和随机缺陷。除了高精度成像和缺陷分类功能外,KLA/TENCOR 2132模型还提供了众多的过程控制和监控功能。它提供了自动晶片对准和测试时间优化，从而减少了晶片检查所需的时间。该设备还具有基于图像的慢速和快速扫描功能，可减少检查时间并实现对过程的快速反馈控制。KLA 2132还为掩模和晶片提供了一整套测量功能,可准确确定工艺参数。最后,TENCOR 2132提供了易于使用的图形用户界面,可以完全控制检查过程。2132掩模和晶圆检测系统具有全面的特性和功能,为半导体行业提供了强大而准确的解决方桉,从而实现了更高效、更可靠的制造过程。