二手 KLA / TENCOR 2132 #293749626 待售

KLA / TENCOR 2132
製造商
KLA / TENCOR
模型
2132
ID: 293749626
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2132是一种高性能的掩模和晶圆检测设备,旨在实现高通量的半导体制造。该系统具有一系列性能驱动功能,旨在方便准确地检测半导体制造过程中使用的掩模和晶片中的微缺陷。该单元的核心是一个500万像素的数字成像子系统,由各种CCD组成,放大了13倍。这些成像子系统能够快速准确地检测各种高灵敏度的微缺陷。所有图像信息都使用机器的Multi-Scanning Technology进行处理,从而可以识别和隔离最小的缺陷。这项技术还可以快速处理和分析所获得的图像。该工具与各种缺陷传感器兼容,包括3D测量所需的传感器和各种缺陷评估技术。它还可以实现广泛的无缺陷模式分析技术,例如对隔离元素的检查、总缺陷检查和模式完整性。该资产的设计目的是在各种各样的材料上进行,包括金属、多晶硅、聚氯乙烯和氧化物。KLA 2132的用户界面直观明了,便于浏览型号的特点。它允许使用各种图像集,包括具有复杂数据类型的图像集,并提供设置多个自动化作业序列的功能。此外,它还提供了一个高度可定制的检查报告页面,能够显示包含文本数据和彩色图像的详细结果。该设备还易于扩展,具有内部扩展插槽,可以更轻松地添加额外的软件容量和映像功能。它还包括一个自动检查配方功能,以及一个菜单驱动的样本/批次设置菜单,方便在每种新基板之前设置检查。TENCOR 2132设计具有多种安全特性,包括ESD防护闸、检疫防护闸、自动节气操作等。2132是市场上最先进、最可靠的面膜和晶圆检验系统之一。其强大的成像技术、直观的用户界面和可靠的安全功能使其成为任何先进半导体制造设施的绝佳选择。
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