二手 KLA / TENCOR 2132 #293749965 待售
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KLA/TENCOR 2132是专门为掩模和晶圆制造行业设计的先进半导体检测平台。它提供了增强的分析,以便更好地控制制造过程,并加快产品开发和产量改进。设备由多轴对准系统、高分辨率测量头、投影光学、图像采集和处理单元以及激光位移传感器组成。多轴对齐机可以精确定位晶片,从而使捕获的图像包含检查所需的所有相关数据点。高分辨率测量头包含先进的光学元件,从检查中获取极其详细的图像。投影光学允许增加视场和优化光分布,从而显着提高信噪比。激光位移传感器用于测量晶圆相对于图像传感器的高度、倾斜度和仰角。它还为不同的晶圆材料、厚度和形状提供快速聚焦。KLA 2132的图像采集和处理工具复杂而强大。它可以自动确定所需的AOI图像大小、图像质量和分辨率,从而最大程度地减少用户交互并保证可靠的结果。强大的图像采集和处理资产包含用于检测高精度缺陷的专用滤波器,以及诸如子像素零件选择和自动聚焦等其他功能,这些功能极大地促进了缺陷的有效检测和分类。TENCOR 2132能够高精度地检测、表征和分类各种缺陷类型。其高速、高分辨率的成像功能有助于检测各种意外缺陷。其先进的显微镜设计和较大的景深允许进行更严格的检查,这有助于解决更具挑战性的问题。总体而言,2132强大的成像模型和强大的功能构成了可靠、快速的掩模和晶片检查的基础。它具有广泛的功能集和智能图像处理功能,能够快速准确地识别缺陷。这些功能与高级运动控制和超精确对准相结合,可实现最高级别的缺陷检测,并为高质量的生产提供稳定性和可靠性。
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