二手 KLA / TENCOR 2132 #293753279 待售
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ID: 293753279
晶圆大小: 6"-8"
优质的: 1995
Wafer inspection system, 6"-8"
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Auto wafer loader
(25) Wafer cassettes
1995 vintage.
KLA/TENCOR 2132是一种用于半导体和光学元件高精度分析的掩模和晶圆检测设备。该系统能够对表面缺陷、电路、集成电路和其他光学元件（包括薄膜厚度和均匀性）进行详细分析。本机采用自动激光束成像装置，分辨率低至1纳米，可提供快速、准确、无缺陷的结果。KLA 2132是一种自动化机器，可以很容易地与目前的自动化晶圆检测系统集成。它具有完全封闭、无尘的环境和高级自动化功能。自动检测工具可以快速准确地分析曲面、电路和组件。此外,该资产还具有板载图像处理软件,可以与标准图像进行更详细的比较。晶圆检测模型采用高分辨率成像相机，从不同角度获取高度详细的图像，可以准确比较表面缺陷和均匀性。TENCOR 2132使用两种不同类型的激光技术来检测各种表面：暗场和明场技术。暗场技术在暗面上创建大缺陷的明亮图像。明场技术在明亮的表面上创建暗缺陷的深色图像。该设备还具有检测极小缺陷的能力，如看不见的颗粒、针孔和晶界空隙，允许检测人眼看不到的颗粒。这是通过自动激光束成像系统实现的，该系统将图像的分辨率提高到1纳米（1纳米），提供了优异的效果。2132可以与众多制造工艺结合使用。它是由SEMI（半导体设备和材料国际）作为其S2-2030标准的一部分进行认证的，确保了与其较大的加工系统的兼容性。而且，该单元还能够进行高通量的数据采集，允许在短时间内拍摄大量图像。KLA/TENCOR 2132是一款先进的自动蒙版和晶圆检测机，提供快速、准确且无缺陷的结果。由于其高分辨率成像相机、自动检测工具和自动激光束成像资产，以及与SEMI S2-2030标准的兼容性，广泛应用于半导体和光学行业。凭借这些特点，KLA 2132能够提供晶圆生产和掩模检测的准确性和可靠性。
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