二手 KLA / TENCOR 2132 #293794172 待售
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KLA/TENCOR 2132是一种自动化的掩模和晶圆检测设备,旨在实现快速准确的缺陷检测。该系统集成了一个4K成像单元,能够捕获晶圆表面的高分辨率图像,以便快速查明和识别缺陷。这些缺陷的范围从极小的表面病变,到更大的空隙或颗粒缺陷。KLA 2132的设计与许多工艺室兼容,从光刻到沉积和蚀刻,使其能够进行调整,以提供准确的结果,无论使用何种工艺。TENCOR 2132利用亮场光学模式,结合结构化光模式,使其能够获得样品表面的高分辨率图像,动态范围远远超过其他常用工具。为了确保准确的缺陷检测,2132使用先进的信号和图像处理算法来识别和比较表面特性。每个图像都映射到标准输出,从而可以详细量化样本的表面形态。除了其成像功能外,KLA/TENCOR 2132还支持自动修复缺陷,允许用户随时间跟踪和监视缺陷级别。机器记录缺陷的确切位置,允许用户仔细检查可疑区域以识别缺陷的原因。此外,该工具存储结果供以后的比较和分析,使用户能够密切监测晶圆的生产进度。KLA 2132是从半导体到MEMS制造等广泛应用的理想资产。虽然传统的检验系统缺乏解决缺陷的能力,但TENCOR 2132能够识别甚至最小的缺陷,然后采取一切必要步骤,确保更大的产量,提高生产率和盈利能力。最后,科军对卓越的承诺确保2132始终保持最高质量水平,使其长期保持可靠和高效。
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