二手 KLA / TENCOR 2132 #293798142 待售

KLA/TENCOR 2132 Mask&Wafer Inspection Equipment是一种用于半导体制造的全自动检测解决方桉。它使用高分辨率的数字成像系统来检测光掩模和晶片中的缺陷，定义为地形或反射率的变化。空气轴承级通过先进的亮场和暗场光学系统传输样品，提供清晰的表面拓扑对比度和特征边缘对比度，便于先进的缺陷分类。KLA 2132有能力容纳高达12英寸的光掩模，以及200毫米至450毫米的半导体晶圆。可使用各种阶段配置,检查单元可配置为低批量生产或大批量制造。结合复杂的会计功能,从扫描角度到曝光次数和层数,TENCOR 2132提供了详细的数据分析、缺陷趋势分析和其他报告能力。易于使用的屏幕用户界面,允许选择各种分析模式。检测套件还包括晶圆对准和图像分析软件，该套件完全兼容业界最新兼容的检测要求和计算机接口。2132 Mask&Wafer Inspection Machine是尺寸和厚度各异的基材的理想工具,在半导体制造设备的可追踪性和可靠性环境中利用先进的视觉检查和幻灯片分析功能。其亮场和暗场系统能够区分地形特征和光学对比度缺陷。其集成的软件套件可确保高效的数据分析、缺陷跟踪和报告。而它的空气承载级则允许更高的样品精度和操作。这些特性使KLA/TENCOR 2132 Mask&Wafer Inspection Asset成为快速高效制造半导体的尖端工具。