二手 KLA / TENCOR 2132 #293815221 待售

KLA/TENCOR 2132掩模和晶圆检测设备是一种用于微电子器件制造的高精度、高速的自动光学检测工具。它是一个集成的机器，采用了最先进的光学检测系统，结合先进的光学和图像分析软件，快速有效地检查正面和背面的掩模和晶圆表面。该设备设计用于检测临界和非临界缺陷,尺寸从0.07 μ m到45 μ m不等。KLA 2132利用一台高分辨率的500万像素线性阵列CCD摄像机,以每秒20,000张图像的速度捕捉图像,提供高度详细的成像和快速的采集速度。它的三个FlashMax高动态范围光学调节系统允许蚀刻或非蚀刻晶片的背面成像，包括设备未受保护的背面，其他检查系统往往做不到。该工具能够通过直接查看标准口罩上的高对比度特征或通过使用低剂量成像检查光掩模特征。此外,TENCOR 2132适用于检查正面和背面晶圆表面的蚀刻和打印工艺层。复杂的图像分析算法用于快速准确地识别缺陷、评估过程性能以及跟踪晶圆性能随时间变化。2132集成的硬件和软件使其成为优越的掩模和晶圆检测工具。它不仅能检测到广泛的缺陷，而且还令人难以置信的可靠和快速。KLA/TENCOR 2132提供准确的成像、提高工作效率和缩短检查时间,为检测和评估掩模和晶片缺陷提供了理想的解决方桉。