二手 KLA / TENCOR 2132 #293815450 待售

KLA/TENCOR 2132是一种可靠的掩模和晶圆检测设备，用于发现半导体生产中的缺陷并提高产量。它结合先进的光学、图像处理和先进的激光测量技术，以纳米尺度检查整个掩模和晶圆表面。KLA 2132基于KLA SmartScribe非线性激光干涉仪。该系统可用于收集和准确报告晶圆或掩模上有缺陷和无缺陷特征的纳米尺度测量。可以一次扫描整个曲面,从而创建整个曲面的清晰图像。TENCOR 2132采用了纳米级激光照明和动态图像处理相结合的专利技术，提供了改进的信噪比，可以精确测量缺陷和其他特征。除了先进的光学之外，2132还具有分段对比度模式用于缺陷检测。此功能使用像素检测来隔离对比度最高的区域,从而可以更准确地识别缺陷。这与更标准的单图像模式识别系统形成鲜明对比，该系统提供的缺陷检测准确度较低。该单元还配备了先进的高速算法，用于缝合和自动对焦。这提供了更快的自动对焦，加快了整个检查过程，并且在扫描更大的蒙版时无需重新聚焦光学器件。KLA/TENCOR 2132提供了多种功能,使其能够根据生产环境进行定制。用户可调节的光学器件可以针对不同的掩模和基板形状进行优化，而机器的软件与一系列生产第三方监控系统兼容。总体而言,KLA 2132是一种易于使用、可靠的掩模和晶片检验工具,可最大限度地提高产量并降低生产成本。其先进的光学、图像处理和动态激光测量组合最大限度地减少了重新聚焦的需要，为纳米测量提供了最高精度。其分段对比度模式用于缺陷检测和高速自动对焦算法，进一步提高了其实用性，成为满足半导体生产需求的宝贵资产。