二手 KLA / TENCOR 2132 #293824937 待售

KLA/TENCOR 2132是一种自动化的掩模和晶圆检测设备，旨在为先进的半导体制造提供减产缺陷的早期检测。该系统采用独特的激光感应光学显微镜（LIM）从上到下逐层检测模具或标线的正面。LIM提供了可用的最高分辨率,允许检测该模具或标线的最终掩模层或晶片层上的亚微米缺陷或形状。同时检查光刻相关缺陷、孔隙缺陷、线路桥接等关键缺陷。该装置配有一个集成摄像头，可根据检测到的层数和缺陷类型自动确定要检查的层。它可以检测CD和Pitch中小至0.1um的缺陷，甚至可以检测CD发际线缺陷。该机器设计用于一次最多检查四个晶片，确保快速周转时间和相对较低的成本每晶片。除了LIM之外，KLA 2132还结合了KLA CMM扫描仪等其他技术，用于精确测量晶片和标线的尺寸。这有助于确保在掩模或晶圆制造过程中没有出错。该工具还配备了Auto-Recipe Generation工具,根据应用程序和技术,通过为每个晶圆创建自定义配方,帮助自动执行检查过程。资产还包括统计过程控制和高级缺陷分类等高级软件工具。这使用户能够快速检查缺陷级别及其与过程变量的相关性,从而有效地改进整个过程控制和产量。此外,该模型还包括实时报告和分析功能,允许在检查过程中快速调整或优化过程变量。最后，TENCOR 2132设备经过YieldRCA-3操作认证，可以让用户快速准确地诊断检查中发现的任何缺陷。这使得该系统成为任何半导体制造过程的强大工具,尤其是用于确定产量限制缺陷的根本原因。