二手 KLA / TENCOR 2132 #9101228 待售
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ID: 9101228
优质的: 1995
Wafer inspection system
Array Mode:
0.62μm: 5 sec/cm2
0.39μm: 15 sec/cm2
0.25μm: 30 sec/cm2
Random Mode:
0.50μm: 1.5 sec/cm2
0.30μm 5 sec/cm2
0.20μm 15 sec/cm2
Minimum inspection feature size @ 0.25μm with DIE to DIE mode ±0.5℃
Defect Capture Rate: >90% on KLA Standard Wafer with >0.1% false rate in Random Mode ±0.2℃
1995 vintage.
KLA/TENCOR 2132是一种掩模和晶圆检测设备,设计用于提供半导体生产的综合解决方桉。该系统提供准确可靠的缺陷检测和分析。该单元具有多种高端自动化和分析功能。利用亮场、暗场、RED增强三级成像精确扫描检测缺陷,并采用先进算法和统计方法对缺陷趋势进行精确分析。该机可以分析模具对模具、模对掩模、芯片对芯片的缺陷等级,并可以测量复杂的CD和迭加特性。除了缺陷检查和分析外,该工具还可以配置为执行高级计量。它为评估和监测提供了一系列参数,例如临界尺寸、线宽和薄膜厚度。这提供了一种更全面的方法来确保给定的生产运行符合必要的规范。该资产是高度可靠和稳定,耐用性已经设计成它的设计。该模型具有用于光束扫描的晶圆对准框架。它还包含多用途、即时晶片几何识别能力、先进的对焦设备以及机动化、高精度的舞台。该系统提供了一个易于使用的用户界面,低学习曲线和无与伦比的重复性和准确性。它还可以方便地针对特定的应用程序要求,提供专门的缺陷检测配方,以实现极高的自定义级别。该装置的掩模和晶圆检验能力满足了半导体制造行业对质量保证的最严格要求。它旨在显着提高吞吐量、产量和可靠性。
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