二手 KLA / TENCOR 2132 #9139541 待售

KLA / TENCOR 2132
製造商
KLA / TENCOR
模型
2132
ID: 9139541
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Wafer inspection system, 8" Bright Field Inspection 1995 vintage.
KLA/TENCOR 2132是一种为提高性能和精度而设计的掩模和晶圆检测设备。它完全自动化,包括高分辨率CCD摄像机、自动对准和对焦系统、通用晶片装载机以及各种成像、测量和对准软件工具等几个组件。高分辨率CCD摄像机具有高达1420万像素的分辨率,可以对晶片、晶片的特性和缺陷进行详细的成像。这与自动对准系统相结合,该系统能够在相机的图像平面上安全地对准掩模或晶片,然后将其定位以获得最佳视图。使用通用晶片装载机将晶片快速准确地加载到设备上,以便能够正确地看到和分析它们。KLA 2132包括几个软件工具,使机器能够对各种特性和缺陷进行精确精确的成像和测量。它具有信号增强和缺陷表征的图像处理能力,以确保准确的测量。此外,它还具有使其能够对齐同一个掩模或晶圆的两个图像以进行比较和空间分析的功能。其中一个工具SEMimage工具使用户能够以更高的放大倍率查看SEM图像,以帮助可视化小缺陷和纳米级特征。此外,该工具还包含大量的测量和对齐功能列表。其中包括晶圆上所有特征的精确定位、线宽和横截面的测量、覆盖公差测量以及目标对目标的对准。还有支持自动和手动数据分析的宏。TENCOR 2132是任何半导体研究或生产设施的重要工具。它的高分辨率摄像机、成像和测量软件以及全面的对准和测量功能可以提高生产率和质量控制。它结合了自动化功能和手动控制选项,使其成为需要高精度和准确性的任务的理想选择。
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