二手 KLA / TENCOR 2132 #9139550 待售

KLA/TENCOR 2132是一种用于制造半导体器件的掩模和晶圆检测设备。它是一种高精度、高通量的系统,专为准确性、可靠性和可重复性而设计。该单元用于检查制造过程不同阶段的半导体器件，如预金属层、金属层和闸门。机器可以在制造过程的早期阶段检测到错误和缺陷，使工艺工程师能够快速向晶圆制造团队提供反馈。该工具采用可变光束成像资产，集成了Optical Cross CCD电子相机，在所有轴上提供了优于0.5微米的分辨率。这样可以精确检测细小的缺陷,例如线宽和间距的缺陷。此外，KLA 2132型号通过一次检查就可以跨多层进行检查，从而可以更快、更详细地进行检查。它分析3维图像，同时评估多个地形层次。这样可以确保通过一次扫描在多个级别检测缺陷,从而能够更准确地检测缺陷。该设备还能够自动进行缺陷预览和分类，从而节省了手动识别和审查缺陷的时间和精力。TENCOR 2132系统具有高度的灵活性和可定制性,允许进行定制以满足客户的要求。该单元还扩大了特征识别领域，使识别缺陷组以及改进过程控制的跟踪和分析功能变得更加容易。总体而言，2132是一种先进的用于半导体器件检测的掩模和晶圆检测机。它提供高分辨率、快速吞吐量和广泛的功能,能够准确检测缺陷并改进过程控制。该工具的灵活性和定制使用户能够根据自己的特定需求定制资产。