二手 KLA / TENCOR 2132 #9159041 待售

KLA/TENCOR 2132是专门为掩模和晶圆检测而设计的光学检测设备。它结合了先进的光基成像技术和软件，对掩模和晶圆表面进行了全面和高精度的分析。该系统由多个单独的组件组成。高分辨率摄像机模块用于收集掩模和晶片的图像数据。然后将摄像机模块连接到精确帧扫描单元,该单元以预定的模式移动摄像机和采样,以便从不同的角度或方向获取多个图像。采用高精度激光点定位机采集和分析x轴和y轴的样品特征。然后,激光点特征会自动注册,并与成像工具对齐,以获得更高的精度。一旦获得数据，信息就被转移到分析计算机上。这台分析计算机处理数据并执行各种不同的检查，包括粒子检测、纹理测量、电压对比度、光谱选择、掩模检查和晶圆检查。它可以检测极小的特征、缺陷和缺陷,并识别特定于掩码和晶片的任何类型的问题。KLA 2132提供业界领先的速度和分辨率,并提供一流的可重复性。它能够测量5微米的最小间隙，可以检测到小至1微米的粒子。它还可以精确测量3微米的针针间隙。再者，资产还配备了一系列高级功能，如自动对准、自动区域检查、自动模具和批次识别、自动缺陷识别以及深入的数据分析能力。所有这些都确保对每一个数据进行彻底的检查和分析,并确保能够快速识别、分类和报告缺陷。TENCOR 2132是真正先进的型号，可以为掩模和晶圆检测提供可靠的检测能力。它是广泛行业的首选设备，其优越的速度和准确性保证了它所检查的任何掩模或晶片都将达到尽可能高的标准。简而言之，2132是口罩和晶圆检验的理想解决方桉。