二手 KLA / TENCOR 2132 #9167971 待售

KLA / TENCOR 2132
製造商
KLA / TENCOR
模型
2132
ID: 9167971
晶圆大小: 8"
Wafer inspection systems, 8" Area: MEAS.
KLA/TENCOR 2132 Mask&Wafer Inspection equipment是一种自动化检查系统,用于识别和评估嵌入在微芯片晶片和Mask上的复杂几何形状中的各种特征。这种广泛采用的单元被用于半导体行业,以帮助确保最高水平的质量控制、准确性和生产率。该机建立在先进的Tencorcore激光扫描技术(TLST)平台上,该平台具有opitcal project (OP)、backside illuminated (BI)、counting-split (FS)和through-silicon-via (TSV)四种光学配置的独特组合。所有这四种配置都提供了卓越的图像分辨率和图像深度,允许在同一成像工具中从不同角度分析目标特征。这对于故障分析、工艺步骤验证、2D/3D光刻分析、产量监测等应用尤为重要。KLA 2132资产构建在TLST平台上,是一种精密工程工具,用于高级故障分析和过程监控。它提供了具有实时吞吐量和灵活的模型配置的高级图像捕获和分析功能。每种光学配置都包括将晶片表面特征切成多个高度数据集,这有助于测量目标层的精度以及评估周围特征。这样,用户可以快速准确地识别制造过程中发生的任何错误。TENCOR 2132还具备先进的半导体和先进的电子检测能力。其直观的用户界面可轻松访问多种功能,包括直观而强大的检查追踪能力、可靠的数据分析、实时反馈和全面的缺陷审查工具。这使高级流程控制和页面产生保证。综上所述,2132是一种先进的掩模晶圆检测设备,旨在帮助半导体行业达到更高的精度和质量控制水平。其先进的图像捕获和分析选项,结合实时吞吐量和灵活的系统配置,使其成为高级故障分析和过程监控的完美工具。
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