二手 KLA / TENCOR 2132 #9277331 待售

KLA/TENCOR 2132掩模和晶圆检测设备是一种全自动成像和检测设备，用于检测厚度高达200纳米（nm）的基板上的高精度和高分辨率缺陷。该系统结合了自动光学成像、照明和对多达60个测试地点的并行检查。KLA 2132使用高分辨率像素传感器技术来捕获掩码/晶片表面的图像，并将它们与预先编程的一组缺陷参数进行比较。TENCOR 2132也有先进的AASI-TACT（Advanced Automated Automated Structure Inspection Unit-Ternary Aerochip Trias）技术，以高灵敏度检查微观特徵。AASIS-TACT经过专门设计，以高精度检查高针数设备。它使用三维波形分析自动隔离、测量和表征基板上的缺陷。这为2132提供了一种自动扫描和测量标准，如缺陷大小、形状、表面积和边坡等。该机具有快速吞吐量，每小时最多可提供8个晶圆，并配有内置的BGA视点检测工具。这样可以在尽可能短的时间内进行故障分析。KLA/TENCOR 2132还具有自动匹配功能,可快速测量具有类似图像的掩码。该资产高度自动化和用户友好,需要最少的操作员输入。它以全面的技术支持为后盾,具有满足业界不断变化的需求的可靠性和灵活性。KLA 2132掩模和晶片检查模型采用经济高效且用户友好的软件包,提供高性能、易变性和准确性,是自动成像和缺陷分析的理想解决方桉。