二手 KLA / TENCOR 2132 #9373021 待售

KLA/TENCOR 2132 Performance Analyzer是一种晶圆和掩模检测设备，用于检测集成电路（IC）晶圆和掩模中的颗粒、缺陷和过程变化。该系统是确保微电子器件高产量、高质量保证的在线检测、分选和分析要求的理想选择。KLA 2132单元利用光学显微镜、散射法、光谱成像、3D成像、电子束显微镜等先进技术。这些工具提供了粒子和缺陷的精确测量，以及掩模和晶片上特征的精确放置、覆盖和轮廓测量。此外,该机器允许根据形状和大小自动进行缺陷分类。TENCOR 2132检测工具安装在一个坚固可靠的外壳中，具有隔振和温度控制功能。检查资产具有可重复的测量精度（0.20 µm 3 σ）、高吞吐量（每小时高达40,000晶圆）和高达每秒500帧的数据速率。该模型易于在操作员一级使用，具有自动化功能校准、自动晶圆处理和直观用户界面等多种用户友好选项。这有助于消除劳动密集型工作，并确保高效和可靠的结果。此外，2132设备还具有多种内置的安全特性，如集成的粒子排斥系统，可以防止晶圆的不良接受。该单位还有一个能源废弃物处理机器，提供一个安全和有效的方式来丢弃污染。KLA/TENCOR 2132 Perfomrance Analyzer是一款先进可靠的工具,可提供卓越的粒子和缺陷检测以及晶圆/掩模测量精度。该资产可帮助确保IC晶圆和掩码的质量控制、过程优化和产量优化。