二手 KLA / TENCOR 2132 #9377282 待售

KLA / TENCOR 2132
製造商
KLA / TENCOR
模型
2132
ID: 9377282
Defect measurement system, 8"'
KLA/TENCOR 2132是一种多传感器掩模和晶片缺陷检测设备,设计用于分析晶片模式、缺陷和系统性能。该装置能够检测半导体晶片和掩模表面的微小缺陷。它利用一系列光学技术,包括红外、可见和紫外线检测技术,来检测各种粒径、形状和成分。它可以对二进制和灰度特征进行映射,以完成缺陷检测。KLA 2132的自动调谐机允许检查不同的晶片,而无需对每个晶片进行手动调整。它具有先进的多图像功能,每个字段最多可进行32次检查。此外,它还允许在整个晶圆曲面上实时处理重载数据集。它还具有HiDef表面采集技术,这是一种专有的晶圆成像技术,旨在消除常见的成像工件。TENCOR 2132适用于多种模式和缺陷检测。它提供了一个高度可重复和可靠的检查,能够识别和区分低对比度和高对比度缺陷,在尺寸小于1纳米。它还能够区分图像移位到小于0.002微米。它具有受气候控制的环境,可确保产品性能和符合客户要求。气候控制工具设计为在检测室提供均匀的温度,以消除手动调温的需要,并优化性能。它的自平平晶片卡盘允许快速、精确的晶片放置。2132具有综合软件集成能力。它具有功能齐全、符合人体工程学的图形用户界面,具有高度可配置的仪表板,允许多个用户同时检查和分析晶圆模式和缺陷。它还支持数据采集和管理任务的自动化,并提供完整的联网解决方桉。该资产是为满足严格的生产和研究需求而设计的。它的模块化设计允许模型随着生产需求的增长而扩展。它以KLA综合服务和支持网络为后盾,提供现场服务、全天候技术支持和例行维护计划。
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