二手 KLA / TENCOR 2132 #9383459 待售

KLA/TENCOR 2132是一种掩模和晶圆检验设备，帮助制造商确保其半导体器件的质量。它用于检测和表征光掩模、工程图纸以及其他新制造的金属和介电层中的缺陷。KLA 2132系统由两个主要组件组成-晶圆检测组（WIS）和掩模检测机（MIS）。WIS组件对未包装的晶片进行光学检查,并收集电气测试和模具分析所需的过程和缺陷数据。它还验证晶圆参数,包括均匀性、几何位置以及整个晶圆临界尺寸。MIS组件对设计用于检测剥离或污染等关键缺陷的光掩模空白进行模模检查,并将其与预期的设计布局进行比较。TENCOR 2132工具采用了多种先进技术，包括高分辨率数字成像、离轴照明、自动相移和专用光学元件，以改进图像采集。它的成像能力允许几何测量和缺陷表征到纳米尺度，这有助于在制造过程的早期发现问题。资产还包括一些内置的质量保证功能，如自动目标选择和评估过程。这有助于减少检查时间并确保在批量生产之前发现最关键的缺陷。该模型支持透明缺陷分类方法,旨在简化与数据库系统的集成。这使得它适合与其他计量解决方桉集成,便于自动缺陷跟踪和表征。此外,设备还提供快速的数据存储,使制造商能够跟踪和比较随时间变化。总体而言,2132是一个自动化的高精度晶片和掩模检验系统,可帮助制造商生产优质设备。它为用户提供了一个可靠高效的设备集成、缺陷检测和制造分析平台。