二手 KLA / TENCOR 2132 #9389837 待售

KLA/TENCOR 2132是一种用于过程控制和产量管理的掩模和晶圆检测设备。它是一个全自动、先进的成像系统，可以检测和测量各种掩模、晶圆和光掩模尺寸的缺陷。该单元依靠高通量的光学设计、精确的扫描和自动自动对焦功能，以平均每秒1-2个样本的通量获得清晰和均匀的图像。硬件包括多光谱LED照明和带有全局快门CMOS传感器的摄像头。机器光学设备将高分辨率成像与大面积传感相结合，能够快速采样和检测潜在缺陷。运动控制和精确传感器确保在整个检查周期中优化样品移动,从而实现一致和准确的图像捕获。该工具还采用基于TrueSpectrum特征的算法进行精确的图像分析。特别设计的算法允许精确的缺陷检测和最小的误报，使速度和准确性。这些算法可以测量特征尺寸和几何特征,包括启用实时缺陷大小和分类。KLA 2132设计具有用户友好的界面,允许轻松设置和转换,以及方便的数据收集、分析和报告。此资产还提供直观的报告功能,允许用户为不同的报告生成多种格式。后期处理图像分析和缺陷大小调整完全自动化，可以即时调整。TENCOR 2132不仅仅是一个掩模和晶圆检测模型。它还可用于一系列生产和工程应用，包括：液晶屏和OEL项目的质量控制、半导体制造工艺、光刻曝光的质量保证、光掩模和标线图样的审查以及CCD中的缺陷检测。通过可选的"系统集成"界面,设备可以与用户现有的生产或工程系统集成-提供更好的流程控制、改进的组件处理和优化的产量。