二手 KLA / TENCOR 2132 #9395743 待售
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KLA/TENCOR 2132是为掩模和晶圆检测而设计的最先进的检测设备。它能够处理直径2到6英寸的晶片,并提供对掩模和晶片的完整数字检查。KLA 2132利用单光子、基于激光的检测系统来检测和量化晶圆两侧的缺陷水平。该单元为每个晶片生成数十亿个数据点,以提供对晶片整个表面的全面分析。此分析包括粒度、粒度类型、缺陷轮廓信息、图像相关性和整体缺陷表征。除了检测和量化缺陷外,TENCOR 2132还可以生成缺陷的高分辨率图像进行进一步分析。该机兼容包括WIPL、OPC、VFL在内的多种行业标准。此外,该工具可用于在一次运行中检查多个晶片,运行时间少于两分钟。该资产还集成了用于晶圆处理和分类的高级机器人技术,以确保高效的工作流和降低的人工成本。2132能够提供无与伦比的检测精度,分辨率降至一微米。该模型还配备了先进的算法,旨在轻松检测甚至晶圆上最小的缺陷。此外,该设备还可提供高速成像,成像速度高达12,000wpm。KLA/TENCOR 2132是一种高性能系统,旨在提供完整的掩模和晶圆检测解决方桉。凭借先进的光学、机器人和检测算法,该设备能够提供无与伦比的精确度以及高速成像和数据分析功能。它是任何需要最高精度和可靠性级别的应用程序的理想解决方桉。
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