二手 KLA / TENCOR 2133 #138914 待售
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KLA/TENCOR 2133是为半导体器件高速、高通量而设计的掩模和晶圆检测设备。该系统利用先进的图像采集和采集处理技术,提供快速准确的缺陷检测。该单元通过检测晶片和掩模布局特征的微小变化来工作。KLA 2133使用多个高速相机对布局层进行成像和扫描。摄像机能够快速捕捉和分析布局中确定的各个层。然后通过算法处理捕获的图像,以识别和检测晶圆和掩码布局特征中的缺陷。这是通过检测布局图样中非常小的变化来完成的,例如阴影或衍射图样。机器包括探测器、照相机和光学等硬件组件。探测器捕获多个布局层,摄像机捕获数据。光学器件将光聚焦并对准刀具中的材料。资产中的光学元件使相机能够准确地捕捉和分析数据。模型中的软件组件包括图像分析算法和视觉工具。这些算法旨在检测布局模式中非常小的变化,并确定存在的缺陷类型。视觉工具允许将多层信息组合在一起。这有助于生成布局中特征缺陷的完整图片。TENCOR 2133为掩模和晶圆检测提供了几个优点。设备可靠准确,能检测最小缺陷,能以非常快的速度工作。系统还能够检查多层并快速处理数据。此外,该单元具有成本效益,并提供易于使用的用户界面。所有这些优点使得2133成为掩模和晶圆检测应用的绝佳选择。
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