二手 KLA / TENCOR 2135-IS #293620770 待售

KLA/TENCOR 2135-IS是一种具有先进成像、分析和报告功能的高性能、高产量、掩模和晶圆检测设备。该系统提供可变大小的视场,并在亮场和暗场成像方面提供出色的图像分辨率。KLA 2135-IS单元借助其照明机、增强的高动态范围成像、激光模式识别以及独特的多视图成像技术，可以检测到复杂掩模或晶片上的最小缺陷。此工具使用的高级成像技术允许进行高质量、以缺陷为中心的图像分析。该资产拥有多个探测器，包括一个1.3百万像素、8位CCD阵列探测器和一个50百万像素、12位CCD阵列探测器。1.3百万像素CCD阵列检测器对适合检查临界几何形状的高分辨率成像具有较深的灵敏度，而50百万像素CCD阵列则用于模式较复杂的较大晶片。由于它们的大探测器尺寸和成像能力，这些探测器提供了检测和分析最小缺陷的能力，即使在大型晶片上也是如此。TENCOR 2135-IS的主要特点之一是多点UV和红外激光模式识别。该特征提供晶圆上激光定义的迭加特征和工艺层的精确映射，使晶圆图像与预定参考图像的实时比较成为可能，从而能够有效检测缺陷。该模型还具有高速缺陷捕获设备,能够对掩码或晶圆图像进行快速、自动化、缺陷表征和分类。用户可以轻松访问、删除、存储和分类系统中的缺陷。除了缺陷检测功能外，该单元还拥有一套功能强大的数据分析和报告工具，让用户生成具有缺陷大小、类型、位置和严重性等各种统计指标的详细报告。总体而言,2135-IS台机器提供了完整的掩模和晶圆检测解决方桉,旨在提供高性能、高产量的结果。该工具可帮助制造商和制造商确保高质量的产品一致性,并满足批量制造的苛刻需求。