二手 KLA / TENCOR 2135 #198385 待售

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製造商
KLA / TENCOR
模型
2135
ID: 198385
Wafer Inspection system, 1998 vintage.
KLA/TENCOR 2135是一种用于半导体制造的前沿经济高效的掩模和晶圆检测设备,旨在处理广泛的生产检测任务,提供无与伦比的速度、可重复性和准确性。KLA 2135将标准对准、敏感的光学检查和数据分析功能结合到一个提供质量保证终极包的产品中。TENCOR 2135具有自动缺陷检测、基板对齐、序列化ID读取等功能。这些特性使掩模和晶片检测器能够高速精确地检测基板。敏感的光学检查功能使系统能够检测和分析晶片或掩模上最小的缺陷。2135具有自定义功能,允许操作员设置特定的产品参数。这些参数包括晶圆图样尺寸的测量、x-y位置误配准、磁头/间隙、图样失真等质量特性。这些自定义设置使KLA/TENCOR 2135能够高效、准确地执行高质量的检查。KLA 2135还能够收集和存储有关被检查部件的数据。然后,这些数据可用于创建产品质量的准确记录。有价值的信息可以用来帮助改善工艺条件和质量控制。TENCOR 2135具有多项节省成本的功能,使其成为市面上最具成本效益的掩模和晶圆检测系统之一。例如,单位使用的动力刺激明显少于其他系统。此外,该机通过使用现场更换光学元件和优化校准过程来降低刀具成本。2135具有高度模块化和可配置的功能,可根据客户的需要进行扩展。这使得它成为一个用途广泛、可靠的平台,可以从小型试点线路运行到大批量生产。总体而言,KLA/TENCOR 2135是一个先进的掩模和晶圆检测平台,它提供了极其精确、可靠和可重复的检测,并具有最小的安装成本和快速的周转时间。它是需要高速可靠检测的半导体制造厂的理想工具。
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