二手 KLA / TENCOR 2135 #293610038 待售

KLA/TENCOR 2135是一种用于生产先进半导体器件的掩模和晶圆检测设备。它是一种专门设计用于在实际生产过程之前、之中和之后检查基板的工具。系统使用电荷耦合器件（CCD）摄像机检测掩模和/或晶片表面的任何异常或缺陷。它提供了一套全面的工具和算法来自动检测、量化、测量和分类每一个缺陷。KLA 2135利用最先进的紫外线（UV）成像进行非接触缺陷检测。它配备了像素精确的图桉匹配，可用于静态和动态任务。该机与其他软件集成，能够与自动探测和计量系统接口。它也可以用来校准和测量光刻过程中的设备。该单元由高速模式匹配引擎、多个CCD摄像机和灵活的软件环境组成，用于缺陷参数优化。阵列匹配引擎可以检测和分析所关注的3D区域内的任何大小的缺陷。CCD摄像机可以在一秒钟内识别数百个缺陷，并为每个缺陷提供精确的3D映射。该软件可用于自定义模式匹配引擎中使用的参数以及缺陷分类中使用的阈值。收集的数据可以由软件存储在数据库中，从而能够快速、方便地检索信息。数据还可用于生成报告和准备分析，这些报告可以印刷或以电子方式发送给负责处理和优化过程的其他人员。该机器可以与现有的计量和测试系统集成，显着提高流程时间，降低成本，精简流程。总体而言，TENCOR 2135是一种可靠、高性能的掩模和晶圆检测工具，旨在确保半导体器件的生产精度和质量控制。它是一种有助于确保纳米级制造零件精度的资产。它是一种经济高效的解决方桉,用于检查生产过程中和生产后的各种缺陷。