二手 KLA / TENCOR 2135 #9139553 待售

KLA/TENCOR 2135是一种自动化光学检查设备，用于半导体器件的掩模和晶圆检查。它设计用于检查各种类型的掩模和晶片，从微处理器到芯片系统。其设计结合了使用先进的光学、软件算法和材料物理，以产生更高的精度、速度和重复性。该单元的核心是一台高分辨率相机，用于捕捉晶圆或掩模的图像。然后对这些图像进行处理和分析，以识别设备表面的结构缺陷，如裂缝和空隙。摄像机安装在可移动平台上,能够将摄像机头部精确定位在设备的特定区域上。这允许在整个设备周围和整个设备之间拍摄多个图像。机器使用的软件算法能够拍摄相机拍摄的图像，并对其进行分析，以识别晶圆或掩模表面的特定缺陷。这一分析过程使得缺陷检测具有很高的准确性。该工具进一步能够确定任何已查明缺陷的精确位置，并提供对缺陷的详细分析。除了其缺陷检测功能外，KLA 2135还提供了一系列其他功能。它能够提供设备内特征的详细测量,如线宽和厚度。这些测量可用于确定所检查的掩模或晶片的精度和精确度。资产还能够详细分析设备的材料特性，包括其光学特性和电气特性。此信息可用于进一步确保设备的制造符合要求的规格。TENCOR 2135是一种高度精确和通用的模型，能够对各种半导体器件进行精确检查。它结合了先进的光学和复杂的软件算法，在缺陷检测和材料分析方面提供了很高的准确性和可重复性。