二手 KLA / TENCOR 2135 #9144798 待售

KLA/TENCOR 2135是为半导体工业设计的一种精密的掩模和晶圆检测设备。该工具以最新技术为基础，能够精确测量和检查晶片和掩模上的各种特性。该系统具有高分辨率CCD探测器,像素大小μ 14.5米,使设备能够识别非常小的缺陷。为了减少操作员的工作量，机器配备了高速晶片装载机，一次处理多达20个晶片。KLA 2135利用激光透射成像（LTI）技术允许使用同一晶圆的多个图像，使其能够精确计算任何给定特征的几何测量。为了进一步提高测量精度，该工具采用了自动聚焦算法，补偿晶圆的任何聚焦或倾斜问题。此外,集成边缘检测算法允许资产精确定位有缺陷的边缘,从而增强模型识别和定位缺陷的能力。设备的分析和后处理功能同样令人印象深刻。广泛的分析功能（包括特征测量、边缘分析和缺陷分析）,使操作员能够快速准确地调查其图像。此外,智能报告生成器简化了数据存储和系统分析。可以针对不同的客户要求定制报告模板。总体而言,TENCOR 2135提供了可靠的掩码和晶圆测量和检查,而其它系统很少能达到这一水平。凭借其先进的技术和高速性能，这一工具使工程师和科学家能够在晶圆和掩模检查过程中达到最高精度。