二手 KLA / TENCOR 2135 #9189621 待售

KLA/TENCOR 2135是一种先进的掩模和晶圆检测设备。该系统提供具有卓越缺陷检测精度和灵敏度的高速自动晶片检测，为晶片提供可靠的抽查。该单元采用高分辨率CCD相机、光学系统等先进光学成像技术，实现了高度的精度和可靠性。它由三个主要组成部分：图像采集、图像处理和缺陷检测子系统.图像采集子系统以高分辨率捕获晶片的图像。此组件由多个摄像机组成,根据所需的检查分辨率,可能包括CCD和CMOS摄像机等不同类型的摄像机。这台机器还结合了基于激光的高度补偿系统来调整晶圆表面的变化。图像处理子系统执行许多复杂的操作，将原始图像转换为适合缺陷检测的形式。这包括图像分析、图像清洗、图像缝合、图像对齐、图像配准、图像分割和图像配准。图像处理子系统还能够识别不同类型的缺陷，如凹坑和空隙、裂缝和划痕。缺陷检测子系统负责自动检测和定位晶片上的缺陷。这是通过光学和缺陷检测算法（如像素级分析、颜色直方图和线性扫描）的组合来实现的。该工具还能够将检测到的缺陷分类为各种缺陷类型。KLA 2135是一种先进的掩模和晶圆检验资产,能够提供可靠的质量保证服务.模型中采用的高精度光学和成像技术使其能够精确、灵敏地检测、分类和定位甚至高速的最小缺陷。这使得它非常适合诸如缺陷评估、质量保证和半导体制造等应用。