二手 KLA / TENCOR 2135 #9195908 待售

KLA/TENCOR 2135是为现代半导体生产而设计的掩模和晶圆检测设备。该系统采用高分辨率成像技术，准确、快速地检查半导体元件制造中使用的掩模和晶片。该单元能够检测表面缺陷（如划痕和颗粒）和地下缺陷（如空隙和针孔）。KLA 2135由一个光学柱组成，包括光源、照明光学器件和透镜，以及图像分析机，其中包括扫描几何、机械扫描阶段和图像处理软件。光学柱包括一个亮场亮场照明器、偏振亮场照明器和斜面照明器，所有这些都是检测不同深度的表面和地下缺陷所必需的。此外,该工具还具有较大的视野和较高的数值孔径。TENCOR 2135的图像分析资产是为高速、高精度地分析图像而设计的。图像处理软件能够实时检测和分类缺陷,从而实现快速响应时间和高生产率。此外，该模型还采用晶圆检测算法，旨在减少产生的误报数量。2135被设计成集成到自动化生产线中，使其易于整合到现有设施中。此外,设备还能够与其他系统连接,例如产量管理、过程控制以及跟踪和跟踪系统。KLA/TENCOR 2135还配备了人性化的图形用户界面，让用户可以快速、轻松地设置和使用系统。KLA 2135是现代半导体生产必不可少的工具，因为它为用户提供高分辨率成像技术、图像分析能力以及与其他系统的集成。利用TENCOR 2135,制造商能够快速准确地检测掩模和晶片中的表面和地下缺陷,从而实现更快、更高效的生产。