二手 KLA / TENCOR 2135 #9249042 待售
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ID: 9249042
晶圆大小: 8"
Wafer inspection system, parts machine, 8"
Missing TDI module and PLLAD module.
KLA/TENCOR 2135掩模和晶圆检验设备是一种先进的计量解决方桉，致力于现代半导体制造的计量需求。它的专有技术使它能够快速准确地测量用于生产半导体器件的光刻掩模或晶片中所包含的关键模式。KLA 2135能够以高度的准确性和可重复性检测设备尺度上极小的缺陷和特征变化。TENCOR 2135系统构建在模块化平台上,可根据需要为各种应用程序配置。这使用户能够根据需要轻松地将该工具用于不同的平版印刷应用。这些应用范围从模模缺陷检测到特征轮廓鉴定到时钟抖动分析。为了便于高精度的测量和分析,该工具包含了专有的硬件和软件。高清光学、共焦激光扫描、干涉光学和高级探测器的独特组合，以微米级分辨率测量和分析特征。此外,还对检测单元的缺陷检测算法进行了精确校准,以检测特征尺寸和形状中最小的变化。同样重要的是2135机器能够高效地快速处理和分析大量数据。由于其板载图像存档和检索功能,该工具可以在一小时内处理数百GB的数据。此外,KLA/TENCOR 2135资产可以自动识别、分类和测量设备特性,几乎无需人工干预。这样可以确保该工具能够始终如一地提供高质量的结果,而无需繁琐的手动检查过程。总体而言，KLA 2135掩模和晶圆检验模型是一个可靠可靠的解决方桉，可以满足现代半导体制造的计量需求。它结合了先进的硬件、软件和分析过程,使其能够可靠地识别光刻面膜和晶片上的缺陷,从而提高质量控制和生产产量。该工具具有在检查过程中减少人工的能力，是任何现代光刻应用的理想选择。
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