二手 KLA / TENCOR 2135 #9252720 待售

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製造商
KLA / TENCOR
模型
2135
ID: 9252720
晶圆大小: 8"
Wafer inspection system, 8" DOS Operation system Ranom and array mode Wafer loader and stage, 6" (2) Open cassettes System backup drive SAT Function is valid Fully safety inter locks Fully exchaust fan Switch and button Joystick Console panel Cover Holder.
KLA/TENCOR 2135是来自KLA和TENCOR的掩模和晶圆检验设备。它是一个先进的系统,对掩模光掩模和半导体晶片进行高速、高分辨率和高精度的检查。该单元采用双电容电荷耦合器件(CCD)相机,用于成像掩模和晶片,提供高达2125 nm的高分辨率图像,并具有400 ns的快速曝光时间。它还具有两个发光二极管(LED)系统,在两个不同的波长下工作,匹配产品的绝对音高,甚至对最困难的缺陷提供一致的检测。KLA 2135设计方便前沿半导体器件零缺陷生产。它提供了一个强大的检查过程,并通过深入分析来检测和分类缺陷,以及映射多个掩模层中相似缺陷之间的连接。该机器还配备了一种特殊的高级缺陷分析(ADA)工具,使用暗场和亮场成像来快速准确地识别关键缺陷,包括打印通过缺陷。此外,TENCOR 2135还提供了创新的模式识别算法来检测模式变化和线宽变化,有助于保持至关重要的设计完整性。为了最大限度地提高生产效率,2135提供了快速下载速度、实时图像处理、自动模具检查和产品缺陷的实时评估。通过具有触摸屏支持的图形用户界面(GUI),该工具使用户可以轻松设置进程,同时访问数据和管理多个晶片的检查。KLA/TENCOR 2135通过直观友好的面向用户的GUI和特殊的高级软件功能得以实现。它易于使用的功能使任何技能级别的操作员都能从其高级性能能力中迅速受益。总之,KLA 2135是半导体行业的高性能掩模和晶圆检测资产,提供高速高精度成像,具有强大的缺陷分析功能。其先进的功能和用户友好的功能使其非常适合大批量生产需求。
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