二手 KLA / TENCOR 2135 #9254151 待售

KLA/TENCOR 2135是一种通用、先进的自动掩模晶片检测设备,能够检测从保险杠到保险杠直径最大8英寸的晶片,分辨率高达0.5微米（500 nm）。这是通过其先进的光束剖面仪和Φ5毫米的外部视场来实现的，它捕获了模具表面关键结构的最精确和最全面的拓扑成像过程。该系统配备了图像编码，以提高计量和工作流程的准确性。除立体成像外，KLA 2135还利用了气溶胶层成像技术，这是一种开创性的方法，可激活对小颗粒和缺陷（如灰尘和污染）进行更高分辨率的独特检测。它还提供了一个内置的宽范围照明均匀性类照明单元,具有多达6种不同的特性-从弱光到高光-实现最佳图像质量,不受任何阴影或耀斑效果的影响。TENCOR 2135还通过创新的Total Feature Image Analysis （TFIA）技术减少了多种类型的系统错误,该技术允许多点特征表征过程,以识别各种图桉大小和形状。此外,该机器还配有彩色材料图,用于增强视觉监控,以及用于数据传输的输入/输出功能。它附带了一个专有软件包7PiiQ,其中包含从检查到优化的一整套功能。可视化-它提供了一组独特的高级分析,供操作员识别和排除任何问题。Predict-它用作自动电气、应力和光学设计规则检查器（DRC）,与模具的视觉特性相关联,可立即检测前缘的错误。该软件还使用户能够跟踪和分析设计规则违规,并定义可自定义的接受/拒绝设置。2135面罩和晶圆检测工具是一种创新的先进解决方桉，其速度、吞吐量以及精度和分辨率无与伦比，非常适合半导体行业中高批量生产。