二手 KLA / TENCOR 2135 #9373035 待售

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製造商
KLA / TENCOR
模型
2135
ID: 9373035
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2135掩模和晶片检测设备是一个最先进的成像平台,旨在最大限度地提高芯片产量,同时提高生产率。与市场上任何其他成像系统相比,它提供了最高的图像质量分辨率和精度。KLA 2135配备了高分辨率数码成像相机,能够捕捉到高达10纳米分辨率的蒙版和晶圆图样图像。这样就可以实时检查智能手机或可穿戴设备上小到电路的模式,以及非常大的硅片。此设备真正具有"熄灯"功能,高度自动化,以实现最高的效率。TENCOR 2135配备了高亮度白光源,针对多种缺陷检测进行了优化。这使得机器能够检测图像伪影,如衍射缺陷,以及传统的平面图桉缺陷。此外,该工具还具有用于非接触表面检查的高性能上荧光通道,能够检测随机缺陷和局部缺陷。Epi-fluorescence能力通过检测斑点、微小的异物和表面蚀刻区域有助于提高半导体器件产量的吞吐量-所有这些都可以降低器件性能和产量。2135设计具有灵活性和可扩展性,具有预先配置的检查工具集、直观的软件平台和多个检测器接口选项。其计量学功能使其非常适合设备表征,因为它可以检测晶圆上的关键尺寸,而无需任何物理标记,使其成为有价值的计量学工具。最后,KLA/TENCOR 2135可以定制配置,以满足客户的需求,其易用性使其成为全天候运行的理想选择。KLA作为掩模和晶圆测试系统的行业领导者,是半导体成像和表征的可靠且经济高效的资产。利用TENCOR创新成像技术,用户可以实现更高的产量和设备性能,以及高品质的产品。该模型非常适合各种半导体器件应用,可用于高级封装和MEMS等应用。
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