二手 KLA / TENCOR 2135 #9389838 待售
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KLA/TENCOR 2135是针对工业应用进行优化的高度先进、耐用的掩模和晶圆检测设备。该系统提供了全面的盒式检查器解决方桉,无需高级操作员,并通过高通量和缺陷检测灵敏度级别确保准确性。该单元由一个带有内部光源的顶部摄像机和一个图像分析程序组成,可以快速准确地检测到有效数据和有缺陷数据之间的差异。再者,顶部相机的大视场保证了大面积的晶片可以被扫描,使其适合各种掩模和晶片尺寸。KLA 2135设计为高速执行,具有广泛的工艺步骤,如光掩模检查、蚀刻验证和模模检查。此外,该机还可用于光掩模光刻、模迭光刻、现场检测和先进的晶圆制造应用。TENCOR 2135还采用了专门设计的成像检测器来检测高分辨率特征。这样可以确保捕获和检测最小的缺陷,从而实现更广泛的流程完整性。此外,该探测器还能够以最小的调整来检测局部反射模式的变化.这使得检查过程具有更高的灵活性。该工具还易于使用和维护,具有彩色用户界面和图形用户界面(GUI)。这样可以实现更高级别的自定义和用户优化。此外,2135可以与机器人室和子系统等其他组件配合使用,进一步增强了其能力。归根结底,KLA/TENCOR 2135是掩码和晶片检查解决方桉的最佳选择,因为它提供了高效、经济高效且可靠的资产。它结合了广泛的视野、快速的速度以及方便的维护和用户界面等功能,使其成为任何工业或制造环境的理想选择。
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