二手 KLA / TENCOR 2138 #191650 待售

KLA/TENCOR 2138是一种精密的掩模和晶片检测设备，设计用于精确检测掩模和晶片基板上的碎片、边缘滚动和其他缺陷。该系统能够执行各种自动检查技术,并且可以配置为以非常具体的分辨率和灵敏度级别运行。KLA 2138是一种多功能设备,非常适合各种应用。用户受益于其双面扫描功能,该功能通过一次检查即可访问晶圆或掩模基板的两侧。该机器的设计效率最高，允许用户在几分钟内完成检查。TENCOR 2138工具中包含的两个主要的检查元件是它的高分辨率显微镜和它的激光罩，用来创建被检查样品的三维地图。显微镜与引擎盖配合工作，检测面罩和晶片上的小缺陷，这些缺陷不会被人眼注意到。这是通过以亚微米分辨率扫描相关材料来实现的。用户可以选择根据分辨率和敏感度的确切规格定制检查。使用2138显微镜进行的检查非常准确,缺陷检测率高达95%,错误警报率低于1%。资产甚至不仅仅是检测碎片和其他缺陷的存在与否。它还可以在形状、大小和方向方面对个别缺陷进行表征，为用户提供对被检查材料的彻底评估。总体而言，KLA/TENCOR 2138是一种高度通用和可靠的掩模和晶片检验模型，能够识别和表征各种小缺陷。KLA 2138具有双面扫描功能、可定制的检查和高精度,是制造商确保其掩模和晶片基板符合规格的不可或缺的工具。