二手 KLA / TENCOR 2139 #135494 待售
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已售出
ID: 135494
Wafer inspection system
Upgraded from KLA / TENCOR 2135 UI
PPC power line conditioner
Power requirements: 208V, 3ø, 30A, 50/60Hz
Can be inspected with power on
1997 vintage.
KLA/TENCOR 2139是一种高精度、自动化的掩模和晶圆检测设备。它以电子方式检测和测量集成电路和光掩模生产过程中金属掩模和半导体晶片表面可能存在的缺陷。凭借其先进的光学和激光扫描技术,KLA 2139系统可以在微观水平上分析芯片、晶体管和其他电路组件的光学特性。TENCOR 2139单元具有精密的成像和分析能力,使其能够快速扫描和评估掩模和晶片。机器甚至可以检测到肉眼可能看不到的最小缺陷,并确保卓越的无缺陷屈服。它在其基于PC的用户界面上具有特殊的软件,可以定制以满足任何应用程序的特定需求。2139工具利用非接触、无损激光和光学测量技术,可以识别有害的粒子和缺陷,如图样缺陷和凹坑。该资产还可以测量蒙版和晶片上的应力,从而能够严格控制关键工艺参数。KLA/TENCOR 2139型号还具有闭环缺陷分类设备,可提供逐个缺陷的精度,从而提高产量并改进设备制造。该系统可提高吞吐量并加快处理时间,从而减少周转时间和产品成本。高速数据采集和全自动缺陷分类,以及矢量和模式识别,使设备成为在线实时缺陷检查的理想选择。凭借快速测量晶圆和掩模尺寸的能力,KLA 2139机器可以高效检查分辨率高达2560 x 2560像素的图像,并具有像素级精度。TENCOR 2139工具提供了不同领域的多种采样、测试和评估功能,以提高准确性并检测到其他不可察觉的缺陷,从而提供准确和可重复的测量效果。它具有全彩色映射和审阅显示模式,允许用户可视化每个缺陷的确切位置和严重程度。2139资产是缺陷检测、晶圆和掩模制造工艺表征及设计变更的理想解决方桉,可提供高速度和高分辨率成像,以确保最佳缺陷检测结果。
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