二手 KLA / TENCOR 2139 #293606933 待售

KLA/TENCOR 2139是KLA开发的用于半导体制造的掩模和晶圆检测设备。该系统基于激光技术，用于自动检查晶片、掩模和液晶显示器上的一系列缺陷。它通过双自动晶片级对样品进行高精度对准，并通过高分辨率激光线进行广域测量。KLA 2139单元旨在最大限度地提高检测过程的生产率，实时准确测量缺陷。它可以快速检测蒙版和晶片之间的模式位移，以及LCD中细微的颜色差异。该机器还提供强大的检查后分析能力，并配备强大的软件，提供可靠的分析和统计评估，以确保可信和可重复的结果。该工具的主要部件包括高分辨率激光线和双自动晶圆级。高分辨率激光线提供高达150 mm的长扫描长度和高动态聚焦,具有较大的景深,可用于全面检测缺陷。双自动晶片级可确保样品的精确对齐,并在晶片上提供一致可重复的结果。TENCOR 2139资产还具有广泛的先进技术，如激光聚焦优化、边缘检测、缺陷分类、粒子分析、缺陷尺寸计量等。该模型还提供了先进的发光二极管技术，用于检测缺陷位置和提供更高的数据准确性。该设备可用于广泛的应用和检查，包括液晶显示器、电子传感器、HDI、后置和薄膜应力、电路模式分析和层计数以及过程监控。该系统还采用透明样品进行配置和校准，以促进有效的缺陷测量和可追踪性。2139单元高度可靠,具有广泛的优势,包括优化检查过程、提高测量精度和降低每晶圆成本。该机性能可靠，适用于任何需要快速、可靠的掩模和晶片检测的应用。