二手 KLA / TENCOR 2139 #9190703 待售

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製造商
KLA / TENCOR
模型
2139
ID: 9190703
Brightfield inspection system Loading configuration: Integrated SMIF Operating system: Windows NT Chuck Cables Fan modules GEM/ SECS Interface 3.5" Floppy drive 10Base-T and BNC (10Base-2) Pixel sizes (Random / Array): 0.160, 0.250, 0.391, 0.625, and 1.250 Power: 208-480V 2001 vintage.
KLA/TENCOR 2139是为先进的半导体生产线设计的一种精密的自动掩模和晶圆检测设备。它配备了一个亮场成像系统,电动XYZ级,以及一个超高光学分辨率的视觉单元,以较传统方法成本的一小部分进行快速检查。KLA 2139利用亮场照明和电动XYZ级实现了掩模和晶片的高分辨率成像。通过使用多个光学成像视图,机器能够在检查晶圆或掩模的表面特征时提供灵活性,如缝合、接触线和其他微观特征。TENCOR 2139的视觉工具包括高性能处理器,其分辨率提高到200 nm,使操作员能够轻松地检测屏蔽和晶片中最小的缺陷。CCD照相机和微观激光器的强度和分辨率都可以变化,以确保准确的分析,而电动XYZ阶段允许快速重新定位和检查不同区域。此外,2139配备了先进的缺陷检测和分类软件,能够准确识别各种缺陷,包括坑、珠、黑点等。这些特性使资产能够快速高效地识别和分类污染晶片。此外,KLA/TENCOR 2139还提供了高级晶圆级缺陷审查和编辑工具,以便快速轻松地处理错误和缺陷。可以组织和过滤检查结果,以便进一步分析。该模型还包括一个常用的图像处理算法库,包括自动缝合、对比度增强和模式识别,以进一步提高其准确性。KLA 2139是晶片显示和产量优化的理想设备,能够快速准确地进行检测。该系统具有扩展的功能,是各种类型的掩模和晶圆设计精确可靠检测的理想解决方桉。
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