二手 KLA / TENCOR 2139 #9230528 待售

KLA/TENCOR 2139是一种掩模和晶片检测设备，设计用于准确测量和检查掩模和晶片元件的整个制造过程。它具有快速、无损、精确、可重复性的晶片检测功能,以及边缘探测和快速缺陷表征等独特功能。该系统的核心是其先进的光学单元，可实现高达17µm的高分辨率晶片成像，面积覆盖率高达每小时50个晶片。其独特的双目标CCD检测器可确保快速、大场无破坏性成像,并具有优化的信号到噪声性能,从大量的可用成像模式选择,以满足广泛的要求。KLA 2139通过三向比较提供精确的高度测量和自动缺陷表征,使用户能够快速区分特定缺陷。其先进的控制软件进一步简化了缺陷分析,通过其双重重建技术实现了对以不同角度拍摄的2D和3D图像的同时比较,使用户能够深入了解晶圆地形的表面和地下属性。该机还配备了独特的离轴观察技术，可以快速检测用于内存设备制造的低k晶片上双侧结构和多深度图桉化薄膜的缺陷。该技术特别适合于采用离轴技术测量接触蚀刻止动层和栅极氧化物层的特性。TENCOR 2139还包括自动或手动晶片处理选项,其配置可同时或单独处理晶片的两侧。该工具还具有自动、精确的装订选项,可快速高效地隔离好的和有缺陷的晶片。总而言之,2139提供了卓越的成像和分析技术,可用于掩模和晶片检测,并具有强大且可高度配置的封装,同时提供了当今业界最快的一些检测速度。其先进的成像和缺陷表征资产使用户能够快速准确地确定其组件中的缺陷并优化其制造过程。